A cikin taron masana'antar semiconductor, buƙatun tsarin kera guntu don yanayin muhalli da daidaiton kayan aiki suna da matuƙar tsauri, kuma duk wani ɗan karkacewa na iya haifar da raguwa mai yawa a yawan amfanin guntu. Dandalin motsi na XYZT daidaitacce yana dogara ne akan abubuwan granite don yin aiki tare da sauran sassan dandamali don gina harsashi mai ƙarfi don cimma daidaiton nanoscale.
Kyakkyawan kaddarorin toshewar girgiza
A cikin bitar masana'antar semiconductor, aikin kayan aiki na gefe da ma'aikata da ke yawo a kusa na iya haifar da girgiza. Tsarin ciki na sassan granite yana da yawa kuma iri ɗaya ne, tare da halayen danshi mai yawa na halitta, kamar "shinge mai inganci na girgiza". Lokacin da aka watsa girgizar waje zuwa dandamalin XYZT, ɓangaren granite zai iya rage fiye da kashi 80% na kuzarin girgiza yadda ya kamata kuma ya rage tsangwama na girgiza akan daidaiton motsin dandamali. A lokaci guda, dandamalin yana da tsarin jagorar iyo mai inganci, wanda ke aiki tare da sassan granite. Jagorar iyo ta iska tana amfani da fim ɗin iska mai ƙarfi wanda iskar gas mai ƙarfi ta samar don cimma motsi mara taɓawa na sassan motsi na dandamalin da rage ƙaramin girgiza da gogayya ta injiniya ke haifarwa. Tare, su biyun suna tabbatar da cewa daidaiton wurin dandali koyaushe ana kiyaye shi a matakin nanometer a cikin mahimman hanyoyin kamar lithography da etching, da kuma guje wa karkacewar tsarin da'irar guntu da girgiza ke haifarwa.
Kyakkyawan kwanciyar hankali na thermal
Sauyin yanayin zafi da danshi a cikin bitar yana da tasiri sosai kan daidaiton kayan aikin kera guntu. Matsakaicin faɗaɗa zafin granite yana da ƙasa sosai, gabaɗaya a cikin 5-7 × 10⁻⁶/℃, girman ba ya canzawa lokacin da zafin ya canza. Ko da bambancin zafin rana da dare a cikin bitar ko samar da zafi na kayan aiki yana sa zafin yanayi ya canza, abubuwan da ke cikin granite na iya zama masu karko don hana lalacewar dandamali saboda faɗaɗa zafi da matsewa. A lokaci guda, tsarin kula da zafin jiki mai wayo wanda aka sanye da dandamali yana sa ido kan zafin yanayi a ainihin lokaci, yana daidaita kayan aikin kwandishan da watsa zafi ta atomatik, kuma yana kula da zafin bitar a 20 ° C ± 1 ° C. Idan aka haɗa shi da fa'idodin kwanciyar hankali na zafi na granite, tabbatar da cewa dandamalin a cikin aiki na dogon lokaci, daidaiton motsi na kowane axis koyaushe ya cika ƙa'idodin daidaiton nanometer na kera guntu, don tabbatar da cewa girman tsarin lithography na guntu daidai ne, zurfin etching iri ɗaya ne.
Biya buƙatun tsaftar muhalli
Shagon kera na'urorin semiconductor yana buƙatar kula da tsafta sosai don hana ƙwayoyin ƙura gurɓata guntu. Kayan granite da kansa ba ya samar da ƙura, kuma saman yana da santsi, ba shi da sauƙin sha ƙura. Dandalin gabaɗaya yana ɗaukar ƙirar tsari mai rufewa ko rabin rufewa don rage shigar ƙurar waje. Tsarin zagayawa na iska na ciki yana da alaƙa da tsarin sanyaya iska mai tsafta na bitar don tabbatar da cewa tsaftar iska ta ciki ta kai matakin da ake buƙata ta ƙera guntu. A cikin wannan yanayi mai tsabta, abubuwan da ke cikin granite ba za su shafi aikin ba saboda zaizayar ƙura, kuma manyan abubuwan da ke cikin dandamali kamar firikwensin da injinan da suka dace da su na iya aiki da kyau, suna ba da garantin daidaito na nanoscale mai ɗorewa da aminci don kera guntu, da kuma taimaka wa masana'antar semiconductor ta matsa zuwa matakin tsari mafi girma.
Lokacin Saƙo: Afrilu-14-2025