A cikin ainihin sarkar kera semiconductor, tsarin canja wurin wafer yana kama da "layin rayuwa na layin samar da guntu", kuma kwanciyar hankali da daidaitonsa kai tsaye suna ƙayyade yawan amfanin guntu. Sabuwar tsarin canja wurin wafer yana haɗa injinan layi tare da tushen granite, kuma fa'idodin musamman na kayan granite sune ainihin lambar don buɗe watsawa mai aiki mai girma.
;
Tushen dutse: Gina "tushe mai ƙarfi da dutse" don watsawa mai karko
Granite, bayan ya shafe ɗaruruwan shekaru yana gyara yanayin ƙasa, yana da lu'ulu'u mai yawa da daidaito tsakanin ma'adanai na ciki. Wannan halayyar halitta ta sa ya zama kayan tushe mai kyau don tsarin canja wurin wafer. A cikin yanayi mai rikitarwa na ɗakunan tsaftacewa na semiconductor, granite, tare da ƙarancin yawan faɗaɗa zafi (kawai 5-7 × 10⁻⁶/℃), zai iya tsayayya da zafin da ake samarwa yayin aikin kayan aiki da tasirin canje-canjen yanayin zafi na muhalli, yana tabbatar da kwanciyar hankali na girman tushe da kuma guje wa karkacewar hanyar watsawa da lalacewar zafi ke haifarwa. Babban aikin da ke rage girgiza na iya ɗaukar girgizar injin da aka samar cikin sauri yayin farawa, rufewa da haɓaka injinan layi, da kuma tsangwama na waje da aikin wasu kayan aiki ke kawowa a cikin bitar, yana samar da dandamali mai karko tare da "sifili girgiza" don watsa wafer.
A halin yanzu, daidaiton sinadarai na granite yana tabbatar da cewa ba ya yin tsatsa ko tsatsa a cikin wuraren bita na semiconductor inda sinadaran acid da alkali ke canzawa kuma ana buƙatar tsafta mai yawa, don haka guje wa tasirin da ke kan daidaiton watsawa saboda tsufa ko gurɓataccen abu. Halayen saman mai santsi da yawa na iya rage manne ƙura yadda ya kamata, cika ƙa'idodin tsabtataccen ɗakuna marasa ƙura da kuma kawar da haɗarin gurɓataccen wafer daga tushen.
Tasirin "haɗin gwiwa na zinare" na injunan layi da granite
Injinan layi, tare da halayensu na rashin izinin watsawa ta injiniya, saurin gudu da saurin amsawa mai yawa, watsa wafer mai ƙarfi tare da fa'idodin "sauri, daidai kuma mai karko". Tushen granite yana ba da dandamali mai ƙarfi da aminci don tallafawa shi. Dukansu suna aiki tare don cimma babban aiki. Lokacin da injin layi ya tura mai ɗaukar wafer don yin aiki akan hanyar tushe ta granite, ƙarfin tauri da kwanciyar hankali na tushe suna tabbatar da ingantaccen watsa ƙarfin tuƙi na motar, yana guje wa asarar ƙarfi ko jinkirin watsawa wanda lalacewar tushe ke haifarwa.
Saboda buƙatar daidaiton nanoscale, injinan layi na iya cimma ikon sarrafa ƙaura na matakin ƙananan micron. Halayen sarrafawa masu inganci na tushen granite (tare da kurakuran lanƙwasa da aka sarrafa a cikin ±1μm) sun dace daidai da ikon sarrafa injinan layi, tare da tabbatar da cewa kuskuren matsayi yayin watsa wafer bai wuce ±5μm ba. Ko dai jigilar sauri ce tsakanin kayan aiki daban-daban na sarrafawa ko kuma wurin ajiye motoci na musamman don miƙa wafer, haɗakar injinan layi da tushen granite na iya tabbatar da "ɓacewa sifili da jitter sifili" a cikin watsa wafer.
Tabbatar da ayyukan masana'antu: Ingantawa biyu a cikin inganci da ƙimar yawan amfanin ƙasa
Bayan haɓaka tsarin canja wurin wafer ɗinsa, wani babban kamfanin semiconductor na duniya ya ɗauki mafita ta layin motor + granite base, wanda ya ƙara ingancin canja wurin wafer da kashi 40%, ya rage yawan aukuwar kurakurai kamar karo da daidaitawa yayin aikin canja wurin da kashi 85%, kuma ya inganta jimlar yawan amfani da guntu da kashi 6%. Bayan bayanan akwai garantin kwanciyar hankali na watsawa da tushen granite ya bayar da kuma tasirin haɗin gwiwa mai sauri da daidaito na injin layi, wanda ke rage asara da kuskure a cikin tsarin watsa wafer sosai.
Daga halayen kayan aiki zuwa kera daidai gwargwado, daga fa'idodin aiki zuwa tabbatarwa ta aiki, haɗakar injunan layi da tushen granite ya sake fasalta ƙa'idodin tsarin canja wurin wafer. A nan gaba lokacin da fasahar semiconductor ta ci gaba zuwa hanyoyin 3nm da 2nm, kayan granite tabbas za su ci gaba da ƙara ƙarfi ga ci gaban masana'antar tare da fa'idodin da ba za a iya maye gurbinsu ba.
Lokacin Saƙo: Mayu-14-2025