A cikin ɗakunan tsaftacewa don na'urorin semiconductor, duba na gani da haɗa kayan aiki daidai, ana aiwatar da tsauraran matakai kan gurɓatar barbashi, tsangwama ga girgiza da canjin zafin jiki da danshi. Teburan duba dutse suna aiki azaman dandamali na kimantawa na metrology a cikin waɗannan wurare. A lokacin zaɓar aikin, masu siye da yawa suna mai da hankali ne kawai kan lanƙwasa saman teburi yayin da suke watsi da ƙuntatawa na musamman da muhallin tsafta ke kawowa. Ɗakin tsaftacewa ba kawai ɗaki ne mai tsafta ba. Ƙwayoyin ƙura, girgizar iska, fitar da iskar gas da tsarin hawa suna hulɗa da saman teburi na dutse. Zaɓi ko shigarwa mara kyau ba zai kawai kawo cikas ga rarrabuwar ɗakunan tsaftacewa ba, har ma yana rage daidaiton teburi a hankali kuma yana rage yawan amfanin samfur. Don ba da damar teburin duba dutse don samar da ingantaccen aikin nano-matakin tunani a cikin ɗakunan tsaftacewa, dole ne a cika buƙatu na musamman da suka shafi tsabtar abu, maganin saman, ƙirar tsarin da ba ta da ƙura, dacewa da muhalli da gudanar da aiki da kulawa.
Na farko, buƙatun maganin abu da saman da suka dace da yanayin tsaftar ɗaki ne. Fale-falen dutse na yau da kullun suna da ƙananan ramuka na ciki waɗanda ke kama ƙurar ma'adinai da tarkace. Waɗannan barbashi na iya fitowa akai-akai a ƙarƙashin matsalar iska, suna gurɓata kayan aiki masu laushi kamar wafers da abubuwan gani. Teburan duba dutse da aka sanya a cikin ɗakunan tsabta an yi su da manyan baƙaƙen dutse masu launin baƙi tare da ƙarancin porosity. Suna yin maganin rufewa na musamman don rufe ƙananan ramuka na ciki da kuma rage fitar da ƙwayoyin cuta mai ɗorewa. Tsarin niƙa tebur bai kamata ya bar sauran hatsi masu gogewa ba, kuma saman da aka gama zai kasance babu ramuka da ke tara ƙura. Ana amfani da ƙarewar kariya mai tsabta, mai ƙarancin fitar da iskar gas maimakon fenti ko resins masu sakin VOC don guje wa gurɓatar yanayi na halitta na sararin tsabtar. Ana amfani da shambura masu laushi a duk gefuna da kusurwoyi don rage tarin ƙura da sauƙaƙe gogewa akai-akai.
Na biyu kuma su ne ƙirar da ke jure ƙura da kuma ƙananan girgiza don tallafi da tushe. Dakunan tsafta galibi suna da raunin girgiza da ke fitowa daga iska mai zagayawa, jigilar kayan aiki da dandamali na atomatik. Gibin zare a kan ƙafafun daidaita daidaiton daidaito yana tattara ƙura da zubar da ƙananan barbashi. Haɗin tallafi don teburin granite na ɗaki mai tsabta an yi su ne da kayan ƙarfe masu ƙarancin zubar da barbashi, tare da tsare-tsare masu jure ƙura da aka rufe da hannayen riga masu kariya waɗanda aka sanya a kan zaren da aka fallasa. Tsarin tallafi gaba ɗaya yana da amfani guda biyu: daidaita matakin da ya dace don kula da matakin tunani da kuma keɓancewar girgiza mai tasiri don toshe ƙananan girgiza daga magoya baya da masu sarrafa robot. Bene na ɗaki gabaɗaya benaye ne masu hana tsayayyen epoxy, waɗanda ba za su iya ɗaukar ramuka masu ƙarfi na keɓewa na girgiza kamar waɗanda ke cikin ɗakunan metrology na gargajiya ba. Saboda haka, ana amfani da faifan girgiza akan tsarin tallafi don rage canja wurin girgiza da hana daidaiton girgiza da ke haifar da haɗuwar girgiza. Yankin da ke ƙarƙashin firam ɗin tebur zai kasance mai sauƙin tsaftacewa ba tare da kusurwoyi marasa matuƙa ba, don ba da damar gogewa da mops na ɗaki mai tsabta da masu tsabtace injin.
Na uku sune sarrafawa kan daidaiton zafin jiki da danshi da kuma nakasawar zafi. Duk da cewa ɗakunan tsafta suna da tsarin zafin jiki na yau da kullun, isar da iska daga na'urorin sanyaya iska na iya busa kai tsaye akan saman granite kuma yana haifar da bambance-bambancen zafin jiki na gida. Granite yana gudanar da zafi a hankali, kuma dumama gida mara daidaituwa zai haifar da ƙaramin karkacewar zafi wanda ke lalata matakin tunani. Dole ne a sanya teburin duba granite nesa da wuraren fitar iska da kuma kwararar iska kai tsaye ta laminar. Ana amfani da ingantaccen kwanciyar hankali na zafi na kayan don iyakance bambancin girma a cikin zafin jiki da yanayin zafi na ɗakin tsaftacewa. Danshi kuma dole ne ya kasance a cikin taga mai kyau. Yawan zafi yana haifar da tsatsa na kayan tallafi na ƙarfe, kuma ƙwayoyin tsatsa suna zama babban tushen gurɓatawa. Ƙananan danshi yana haifar da wutar lantarki mai tsauri wanda ke jan ƙura zuwa saman tebur da kayan aiki. Ga dandamali masu ɗauke da iskar granite, iska mai matsewa da aka bayar zuwa tashoshin iska yana buƙatar tacewa sosai don hana ƙura busawa akan saman tebur.
Na huɗu sune buƙatun sarrafa tsafta don haɗa kayan haɗin da kayan taimako. Ana amfani da teburin duba dutse a cikin ɗakunan tsafta don haɗa tushen granite, na'urori masu ɗaukar iska da hanyoyin duba gani, tare da matakan motsi masu layi da tsarin motsi na XY a saman. Dole ne a tsaftace duk kayan aiki da maƙallan, a shafa mai a cikin marufi mara ƙura a wajen ɗakin tsaftacewa kafin shiga. An hana kwalaye da jakunkunan filastik na yau da kullun a cikin wurare masu tsabta. Dole ne a yi aikin haɗawa a saman teburi ta amfani da kayan aikin tsaftacewa. Masu aiki suna sanya kayan tsaftacewa da safar hannu don hana gurɓatawa daga ƙuraje da mai. Dole ne a share ramukan gano fil da abubuwan da aka saka a cikin granite gaba ɗaya daga sarrafa tarkace kuma a rufe su don kama gurɓatattun abubuwa da aka saka. Ana wanke hanyoyin iska a kan dandamalin granite masu ɗaukar iska akai-akai bayan an yi aiki don cire duk barbashi da suka rage kafin a shigar da su a wurin. 
Na biyar shine tsarin aiki da kulawa mai tsafta. Dakunan gwaje-gwaje na metrology na yau da kullun na iya amfani da goge-goge na auduga da na yau da kullun, amma goge-goge marasa ƙura da sabulun wanke-wanke marasa ƙura ne kawai za a iya amfani da su a cikin ɗakunan tsafta. An haramta kayan aikin gogewa masu tauri, domin ƙagewa a saman ƙasa daidai zai danne gurɓatattun abubuwa har abada. Dole ne a cire ƙurar da aka yi amfani da su don duba daidaito kafin a taɓa saman tebur. An tsara daidaita daidaito lokaci-lokaci a lokacin ƙarancin samarwa don rage tasirin barbashi daga motsin ma'aikata. Bai kamata a motsa saman tebur na dutse ba a cikin ɗakunan tsaftacewa, saboda gogayya yayin ƙaura yana haifar da adadi mai yawa na barbashi kuma yana rage rarrabuwar ɗakin tsaftacewa. Ana yin tabbatar da daidaito akai-akai tare da na'urorin auna laser da matakan lantarki don kiyaye ingantaccen aikin tunani. Ma'aikatan kulawa akai-akai suna duba tsarin tallafi don zubar da barbashi da kuma tabbatar da ingancin rufewa. Ana gyara layukan rufewa da suka lalace nan take don dakatar da ci gaba da sakin barbashi daga ramukan dutse.
A taƙaice, ga teburin duba duwatsu masu daraja da ake amfani da su a ɗakunan tsafta, daidaito kawai shine buƙatar shigarwa. Daidaito mai tsafta, sarrafa barbashi, juriya ga matsalar kwararar iska da ƙarancin iskar gas sune manyan buƙatu na musamman. Kayan tebur, tsarin tallafi, tsarin shigarwa da ayyukan kulawa duk dole ne su dace da yanayin ɗakin tsafta. Ta wannan hanyar ne kawai za a iya kiyaye rarrabuwar ɗakunan tsafta da kwanciyar hankali na ma'aunin nano / micron, wanda ke tallafawa ingantaccen aikin duba daidaito ga semiconductor, na gani da sabbin masana'antun makamashi.
Lokacin Saƙo: Satumba-23-2026