;
A fagen masana'antar semiconductor, a matsayin kayan aiki na yau da kullun waɗanda ke ƙayyade madaidaicin tsarin ƙirar guntu, kwanciyar hankali na yanayin ciki na na'urar daukar hoto yana da mahimmanci. Daga tashin hankali na matsananciyar hasken ultraviolet zuwa aiki na nanoscale madaidaicin dandamali na motsi, ba za a iya samun 'yar karkata ba a kowace hanyar haɗi. Tushen Granite, tare da jerin abubuwan musamman na musamman, suna nuna fa'idodi mara misaltuwa wajen tabbatar da tsayayyen aiki na injunan hoto da haɓaka daidaiton hoto. ;
Fitaccen aikin kariya na lantarki
Ciki na injin daukar hoto yana cike da hadadden yanayi na lantarki. Tsangwama na lantarki (EMI) da aka samar ta hanyar abubuwan da aka gyara kamar matsananciyar hasken ultraviolet, injin tuƙi, da samar da wutar lantarki mai tsayi, idan ba a sarrafa su yadda ya kamata ba, za su yi tasiri sosai ga aikin ingantattun kayan lantarki da tsarin gani a cikin kayan aiki. Alal misali, tsangwama na iya haifar da ƴan sabani a cikin ƙirar hoto. A cikin ci-gaba na masana'antu hanyoyin, wannan ya isa ya haifar da kuskuren haɗin gwiwar transistor akan guntu, yana rage yawan amfanin guntu. ;
Granite abu ne mara ƙarfe kuma baya gudanar da wutar lantarki da kanta. Babu wani al'amari na shigar da wutar lantarki da ke haifar da motsin electrons kyauta a ciki kamar a cikin kayan ƙarfe. Wannan siffa ta sa ta zama jikin garkuwar lantarki ta halitta, wanda zai iya toshe hanyar watsawa na kutsawa ta ciki. Lokacin da madaidaicin filin magnetic da aka samar ta hanyar tushen tsangwama na lantarki na waje yana yaduwa zuwa tushen granite, tunda granite ba mai maganadisu ba ne kuma ba za a iya yin maganadisu ba, madaidaicin filin magnetic yana da wahalar shiga, don haka yana kare mahimman abubuwan na'urar daukar hoto da aka sanya akan tushe, kamar madaidaicin na'urori masu auna firikwensin da na'urorin daidaitawar ruwan tabarau na na'urorin lantarki, daga tasirin tasirin wutar lantarki da na'urorin daidaitawa na lantarki, photolithography tsari. ;
Kyakkyawan dacewa da injin injin
Saboda matsanancin hasken ultraviolet (EUV) yana iya ɗaukar kowane abu cikin sauƙi, gami da iska, injinan lithography na EUV dole ne suyi aiki a cikin mahalli. A wannan lokaci, dacewa da kayan aikin kayan aiki tare da mahallin injin ya zama mahimmanci musamman. A cikin sarari, kayan na iya narkewa, ɓata kuma su saki gas. Gas ɗin da aka saki ba wai kawai yana ɗaukar hasken EUV ba, yana rage ƙarfi da haɓakar watsawar hasken, amma kuma yana iya lalata ruwan tabarau na gani. Misali, tururi na ruwa na iya yin oxidize da ruwan tabarau, kuma hydrocarbons na iya sanya yadudduka na carbon akan ruwan tabarau, suna yin tasiri sosai ga ingancin lithography. ;
Granite yana da ingantaccen kaddarorin sinadarai kuma da kyar yake sakin iskar gas a cikin yanayi mara kyau. Dangane da gwajin ƙwararru, a cikin injin injin da aka kwaikwayi na hotolithography (kamar mahalli mai tsabta mai tsabta wanda tsarin hasken haske da tsarin gani na gani a cikin babban ɗakin suke, yana buƙatar H₂O <10⁻⁵ Pa, CₓHᵧ <10⁻ mafi ƙasƙanci mafi ƙasƙanci fiye da ƙarancin Pa). na sauran kayan kamar karafa. Wannan yana ba da damar ciki na na'urar daukar hoto don kula da babban digiri da tsabta na dogon lokaci, yana tabbatar da babban watsa hasken EUV yayin watsawa da yanayin amfani mai tsabta don ruwan tabarau na gani, fadada rayuwar sabis na tsarin gani, da haɓaka aikin gabaɗaya na na'urar daukar hoto. ;
Ƙarfin juriya mai ƙarfi da kwanciyar hankali na thermal
A lokacin aikin daukar hoto, daidaitaccen matakin nanometer yana buƙatar cewa injin ɗin na'urar ba dole ne ya sami ɗan girgiza ko nakasar zafi ba. Girgizar yanayi da aka haifar ta hanyar aiki na wasu kayan aiki da motsi na ma'aikata a cikin bitar, da kuma zafin da injin daukar hoto ya samar da kanta yayin aiki, na iya tsoma baki tare da daidaiton hoto. Granite yana da babban yawa da rubutu mai wuya, kuma yana da kyakkyawan juriya na girgiza. Tsarin kristal na ma'adinai na ciki yana ƙanƙanta, wanda zai iya rage ƙarfin rawar jiki da sauri kuma yana danne haɓakawar girgiza. Bayanan gwaji sun nuna cewa a ƙarƙashin tushen jijjiga iri ɗaya, ginin granite zai iya rage girman girgiza da fiye da 90% a cikin daƙiƙa 0.5. Idan aka kwatanta da tushe na karfe, zai iya mayar da kayan aiki zuwa kwanciyar hankali da sauri, yana tabbatar da madaidaicin matsayi tsakanin ruwan tabarau na photolithography da wafer, da kuma guje wa ɓataccen tsari ko rashin daidaituwa ta hanyar girgiza. ;
A halin yanzu, ƙimar haɓakar haɓakar thermal na granite yana da ƙasa sosai, kusan (4-8) × 10⁻⁶/℃, wanda yake ƙasa da na kayan ƙarfe. A lokacin aikin na'urar daukar hoto, ko da yanayin zafin jiki na ciki ya canza saboda dalilai irin su samar da zafi daga tushen haske da gogayya daga kayan aikin injiniya, ginin granite zai iya kula da kwanciyar hankali mai girma kuma ba zai sami nakasu mai mahimmanci ba saboda haɓakar thermal da ƙugiya. Yana ba da goyon baya mai ƙarfi da aminci ga tsarin gani da madaidaicin dandamali na motsi, yana kiyaye daidaiton daidaiton hoto.
Lokacin aikawa: Mayu-20-2025