Motar linzamin kwamfuta + granite tushe: Babban sirrin sabon ƙarni na tsarin canja wurin wafer.

A cikin madaidaicin sarkar masana'antar semiconductor, tsarin canja wurin wafer yana kama da "layin rayuwa na layin samar da guntu", kuma kwanciyar hankali da daidaiton sa kai tsaye yana ƙayyade ƙimar amfanin kwakwalwan kwamfuta. Sabuwar ƙarni na tsarin canja wurin wafer cikin juyin juya hali ya haɗu da injunan layi tare da sansanonin granite, kuma fa'idodi na musamman na kayan granite shine ainihin ainihin lambar don buɗe watsa ayyuka mai girma.

;
Tushen Granite: Gina "tushe mai ƙarfi" don ingantaccen watsawa
Granite, bayan da ya yi ɗaruruwan miliyoyin shekaru na gyaran ƙasa, yana da ƙaƙƙarfan ƙirƙira ma'adinai na ciki. Wannan halayyar dabi'a ta sa ya zama kyakkyawan kayan tushe don tsarin canja wurin wafer. A cikin hadaddun yanayi na semiconductor cleanrooms, granite, tare da matsananci-low coefficient na thermal fadada (kawai 5-7 × 10⁻⁶ / ℃), zai iya tsayayya da zafi samar a lokacin da kayan aiki aiki da kuma rinjayar muhalli canje-canje, tabbatar da kwanciyar hankali na tushe size da kuma guje wa watsa hanyar sabawa lalacewa ta hanyar thermal nakasawa. Its fice vibration damping yi zai iya sauri sha da inji vibrations generated a lokacin farawa-up, rufewa da kuma hanzari na mikakke Motors, kazalika da waje tsangwama kawo ta aiki na sauran kayan aiki a cikin bitar, samar da wani barga dandamali tare da "sifili girgiza" ga wafer watsa. ;
A halin yanzu, da sinadaran da kwanciyar hankali na granite tabbatar da cewa shi ba ya lalata ko tsatsa a semiconductor bitar inda acid da alkali reagents ne maras tabbas da high tsafta da ake bukata, don haka guje wa tasiri a kan watsa daidaito saboda kayan tsufa ko gurbatawa adsorption. Siffofin daɗaɗɗa masu santsi da ƙaƙƙarfan yanayi na iya rage yawan mannewar ƙura yadda ya kamata, saduwa da ƙayyadaddun ƙayyadaddun ƙayyadaddun ƙayyadaddun ɗakuna masu tsabta da kuma kawar da haɗarin gurɓataccen wafer daga tushen. ;
Tasirin "haɗin gwiwar zinare" na injinan layi da granite
Motoci masu layi, tare da halayensu na babu izinin watsawa na inji, babban haɓakawa da saurin amsawa, yana ba da watsa wafer tare da fa'idodin "sauri, daidai kuma barga". Tushen granite yana ba da ingantaccen dandamalin tallafi mai dogaro da shi. Su biyun suna aiki tare don cimma nasara a cikin aiki. Lokacin da motar linzamin kwamfuta ta motsa mai ɗaukar wafer don yin aiki a kan waƙar granite, ƙaƙƙarfan ƙarfi da kwanciyar hankali na tushe yana tabbatar da ingantaccen watsawar motsin motsi, guje wa asarar ƙarfi ko lalacewa ta hanyar lalacewa ta tushe. ;
Ƙarfafa buƙatun madaidaicin nanoscale, injina masu linzami na iya cimma ikon sarrafa matsuguni na matakin ƙananan ƙananan ƙananan. Halayen sarrafa madaidaicin madaidaicin tushe na granite (tare da kurakurai masu laushi da aka sarrafa a cikin ± 1μm) daidai daidai da daidaitaccen iko na injunan layi, tare da tabbatar da cewa kuskuren sakawa yayin watsa wafer bai wuce ± 5μm ba. Ko yana da babban saurin rufewa tsakanin kayan aiki daban-daban ko daidaitaccen filin ajiye motoci don mika kayan wafer, hade da injunan linzamin kwamfuta da sansanonin granite na iya tabbatar da "raguwar sifili da jitter sifili" a cikin watsa wafer. ;
Tabbatar da aikin masana'antu: Haɓakawa biyu cikin inganci da ƙimar yawan amfanin ƙasa
Bayan haɓaka tsarin canja wurin wafer, babban kamfani na semiconductor na duniya ya karɓi injin linzamin kwamfuta + granite tushe bayani, wanda ya haɓaka ingancin canja wurin wafer da kashi 40%, ya rage yawan abubuwan da suka faru na laifuffuka kamar karo da diyya yayin aiwatar da canja wurin da kashi 85%, kuma ya inganta yawan amfanin kwakwalwan kwamfuta da kashi 6%. Bayan bayanan ya ta'allaka ne da garantin kwanciyar hankali na watsawa da aka samar ta hanyar granite tushe da kuma babban sauri da daidaitaccen tasirin haɗin gwiwa na injin linzamin kwamfuta, wanda ke rage hasara da kuskure a cikin tsarin watsa wafer. ;
Daga kaddarorin kayan aiki zuwa madaidaicin masana'anta, daga fa'idodin aiki zuwa tabbatarwa mai amfani, haɗuwa da injunan linzamin kwamfuta da sansanonin granite sun sake fasalin ƙa'idodin tsarin canja wurin wafer. A nan gaba lokacin da fasahar semiconductor ta ci gaba zuwa matakai na 3nm da 2nm, kayan granite tabbas za su ci gaba da sanya kuzari mai ƙarfi cikin ci gaban masana'antar tare da fa'idodin da ba za a iya maye gurbinsu ba.