Takaitaccen tasirin ma'aunin haɓakar haɓakar thermal akan masana'antar semiconductor.

;
A fagen masana'antar semiconductor, wanda ke bin daidaitattun daidaito, ƙimar haɓakar haɓakar thermal shine ɗayan mahimman sigogi waɗanda ke shafar ingancin samfur da daidaiton samarwa. A cikin dukan tsari daga photolithography, etching zuwa marufi, bambance-bambance a cikin thermal fadada coefficients na kayan iya tsoma baki tare da masana'antu daidaito ta hanyoyi daban-daban. Koyaya, tushen granite, tare da ƙarancin haɓakar haɓakar yanayin zafi mai ƙarancin zafi, ya zama mabuɗin magance wannan matsalar. ;
Tsarin lithography: nakasar thermal yana haifar da sabani
Photolithography babban mataki ne a masana'antar semiconductor. Ta hanyar na'urar daukar hoto, ana canza tsarin da'irar a kan abin rufe fuska zuwa saman wafer da aka rufe da photoresisist. A lokacin wannan tsari, kula da thermal a cikin injin photolithography da kwanciyar hankali na tebur suna da mahimmanci. Dauki kayan ƙarfe na gargajiya a matsayin misali. Adadin su na haɓakawar thermal yana kusan 12 × 10⁻⁶ / ℃. A lokacin aikin na'ura na photolithography, zafi da aka haifar ta hanyar hasken wuta na Laser, ruwan tabarau na gani da kayan aikin injiniya zai haifar da zafin jiki na kayan aiki ya tashi da 5-10 ℃. Idan teburin aikin na'urar lithography yana amfani da tushe na ƙarfe, tushe mai tsayin mita 1 na iya haifar da nakasar faɗaɗa na 60-120 μm, wanda zai haifar da matsawa a matsayin dangi tsakanin abin rufe fuska da wafer. ;
A cikin ci gaban masana'antu (kamar 3nm da 2nm), tazarar transistor ƴan nanometer ne kawai. Irin wannan ƴan ƙaramar nakasar zafi ya isa ya haifar da rashin daidaituwar tsarin photolithography, wanda ke haifar da mahaɗin transistor mara kyau, gajeriyar kewayawa ko buɗaɗɗen kewayawa, da sauran batutuwa, kai tsaye yana haifar da gazawar ayyukan guntu. Matsakaicin haɓakar haɓakar thermal na granite tushe yana da ƙasa da 0.01μm/°C (watau (1-2) ×10⁻⁶/℃), kuma nakasar a ƙarƙashin canjin zafin jiki iri ɗaya shine kawai 1/10-1/5 na na ƙarfe. Yana iya samar da ingantaccen dandamali mai ɗaukar nauyi don na'urar daukar hoto, yana tabbatar da daidaitaccen canja wurin ƙirar hoto da inganta haɓakar masana'antar guntu. ;

Etching da ajiya: Yana shafar daidaiton girman tsarin
Etching da sakawa su ne mahimman matakai don gina sifofi mai girma uku akan saman wafer. A yayin aiwatar da etching, iskar gas mai amsawa tana fuskantar wani sinadari tare da saman kayan wafer. A halin yanzu, abubuwan da aka gyara kamar wutar lantarki na RF da sarrafa kwararar iskar gas a cikin kayan aiki suna haifar da zafi, yana haifar da zafin wafer da abubuwan kayan aikin. Idan ƙididdiga na haɓakar haɓakar mai ɗaukar wafer ko tushen kayan aiki bai dace da na wafer ba (madaidaicin haɓakar haɓakar kayan siliki yana kusan 2.6 × 10⁻⁶ / ℃), damuwa na thermal zai haifar da canjin yanayin zafi, wanda zai iya haifar da ƙananan fasa ko warping a saman wafer. ;
Irin wannan nakasar zai shafi zurfin etching da kuma tsaye na bangon gefe, yana haifar da ma'auni na ƙwanƙwasa ƙwanƙwasa, ta hanyar ramuka da sauran sifofi don kauce wa buƙatun ƙira. Hakazalika, a cikin tsarin ƙaddamar da fim na bakin ciki, bambancin haɓakar zafin jiki na iya haifar da damuwa na ciki a cikin fim din da aka ajiye, wanda zai haifar da matsaloli irin su fashewa da kwasfa na fim din, wanda ke rinjayar aikin lantarki da kuma dogon lokaci na dogara ga guntu. Yin amfani da ginshiƙan granite tare da madaidaicin haɓakar haɓakar thermal mai kama da na kayan silicon na iya rage ƙarancin zafin rana yadda ya kamata da tabbatar da kwanciyar hankali da daidaiton matakan etching da sakawa. ;
Matakin marufi: Rashin daidaituwa na thermal yana haifar da al'amuran aminci
A cikin matakin marufi na semiconductor, dacewa da ma'aunin haɓakar zafin zafi tsakanin guntu da kayan marufi (kamar resin epoxy, yumbu, da sauransu) yana da mahimmancin mahimmanci. Matsakaicin haɓakar haɓakar zafin jiki na silicon, ainihin kayan kwakwalwan kwamfuta, yana da ƙarancin ƙarancin ƙarfi, yayin da na yawancin kayan marufi suna da inganci. Lokacin da zafin jiki na guntu ya canza yayin amfani, damuwa mai zafi zai faru tsakanin guntu da kayan marufi saboda rashin daidaituwar ma'aunin haɓakar thermal. ;
Wannan matsi na thermal, a ƙarƙashin tasirin maimaita yanayin zafin jiki (kamar dumama da sanyaya lokacin aikin guntu), na iya haifar da gajiyar fashewar haɗin gwiwar solder tsakanin guntu da marufi, ko kuma haifar da haɗin haɗin kan saman guntu ya faɗi, a ƙarshe yana haifar da gazawar haɗin wutar lantarki na guntu. Ta hanyar zabar kayan marufi tare da madaidaicin haɓakar haɓakar thermal kusa da na kayan silicon da amfani da dandamali na gwajin granite tare da ingantaccen kwanciyar hankali na thermal don gano daidaito yayin aiwatar da marufi, matsalar rashin daidaituwar thermal za a iya rage yadda ya kamata, amincin marufi za a iya inganta, kuma za a iya tsawaita rayuwar sabis na guntu. ;
Gudanar da yanayin samarwa: daidaituwar daidaiton kayan aiki da gine-ginen masana'anta
Baya ga yin tasiri kai tsaye kan tsarin masana'antu, haɓakar haɓakar thermal kuma yana da alaƙa da sarrafa muhalli gabaɗaya na masana'antar semiconductor. A cikin manyan tarurrukan samar da semiconductor, abubuwa kamar farawa da dakatar da tsarin kwandishan da ɗumbin zafi na gungu na kayan aiki na iya haifar da sauyin yanayi a yanayin zafi. Idan madaidaicin faɗaɗa thermal na bene na masana'anta, sansanonin kayan aiki da sauran ababen more rayuwa sun yi yawa, canje-canjen zafin jiki na dogon lokaci zai sa ƙasa ta fashe kuma tushen kayan aikin ya canza, ta haka yana shafar daidaiton kayan aikin daidaitattun na'urori kamar na'urorin hoto da na'urorin etching. ;
Ta yin amfani da sansanonin granite kamar yadda kayan aiki ke tallafawa da haɗa su tare da kayan gini na masana'anta tare da ƙarancin haɓaka haɓaka haɓakar thermal, ana iya ƙirƙirar yanayin samar da kwanciyar hankali, rage yawan ƙimar kayan aiki da ƙimar kulawa da lalacewa ta yanayin yanayin zafi, da tabbatar da kwanciyar hankali na dogon lokaci na aikin samar da semiconductor. ;
Matsakaicin haɓakar haɓakar thermal yana gudana cikin duk tsarin rayuwa na masana'antar semiconductor, daga zaɓin kayan aiki, sarrafa tsari zuwa marufi da gwaji. Ana buƙatar yin la'akari da tasirin faɗaɗawar thermal a cikin kowane hanyar haɗin gwiwa. Tushen Granite, tare da ƙarancin ƙarancin haɓakar haɓakar yanayin zafi da sauran kyawawan kaddarorin, suna ba da ingantaccen tushe na zahiri don masana'antar semiconductor kuma ya zama muhimmin garanti don haɓaka haɓaka ayyukan masana'antar guntu zuwa daidaici mafi girma.