Shin ginin injin granite zai faɗaɗa saboda zafi yayin binciken wafer?

A cikin maɓallin maɓalli na masana'anta guntu - duban wafer, daidaiton kayan aiki yana ƙayyade ingancin guntu. A matsayin muhimmin sashi na kayan aiki, matsalar haɓakar zafin jiki na ginin injin granite ya jawo hankali sosai.

Matsakaicin haɓakar haɓakar thermal na granite yawanci tsakanin 4 da 8 × 10⁻⁶ / ℃, wanda yake ƙasa da na karafa da marmara. Wannan yana nufin cewa idan yanayin zafi ya canza, girmansa yana canzawa kaɗan. Duk da haka, ya kamata a lura cewa ƙananan haɓakar thermal ba yana nufin babu haɓakar thermal ba. Ƙarƙashin matsanancin canjin zafin jiki, ko da ƙaramar faɗaɗa na iya shafar daidaiton nanoscale na duban wafer.

A lokacin aikin duban wafer, akwai dalilai da yawa na faruwar faɗaɗa thermal. Sauye-sauyen yanayin zafi a cikin bitar, zafin da ake samu ta hanyar aiki na kayan aikin, da kuma yanayin zafi nan take da sarrafa Laser zai haifar da tushen granite zuwa "fadada da kwangila saboda canjin yanayin zafi". Da zarar tushe ya sami faɗaɗa thermal, madaidaiciyar layin dogo na jagora da shimfidar dandali na iya karkacewa, haifar da yanayin motsi mara kyau na teburin wafer. Abubuwan da ke goyan bayan abubuwan gani kuma za su canza, haifar da katakon dubawa don "juya". Yin aiki ci gaba na dogon lokaci zai kuma tara kurakurai, yana sa daidaito ya yi muni da muni.

Amma kar ka damu. Mutane sun riga sun sami mafita. Dangane da kayan, za a zaɓi veins na granite tare da ƙananan haɓakar haɓakar thermal kuma za a yi amfani da su don maganin tsufa. Dangane da yanayin kula da zafin jiki, ana sarrafa zafin bitar daidai a 23 ± 0.5 ℃ ko ma ƙasa, kuma za a tsara na'urar kawar da zafi don tushe. Dangane da ƙirar tsari, ana ɗaukar sifofin daidaitawa da masu sassaucin ra'ayi, kuma ana aiwatar da sa ido na ainihi ta hanyar na'urori masu auna zafin jiki. Kurakuran da ke haifar da nakasar zafi ana gyara su ta hanyar algorithms.

Babban kayan aiki irin su na'urorin lithography na ASML, ta waɗannan hanyoyin, suna kiyaye tasirin haɓakar zafin jiki na ginin granite a cikin ƙaramin ƙaramin kewayon, yana ba da damar daidaiton sikanin wafer don isa matakin nanometer. Sabili da haka, idan dai ana sarrafa shi da kyau, tushen granite ya kasance abin dogara ga kayan aikin sikanin wafer.