Shin tushen injin granite zai faɗaɗa saboda zafi yayin binciken wafer?

A cikin babban haɗin kera guntu - na'urar daukar hoto ta wafer, daidaiton kayan aikin yana ƙayyade ingancin guntu. A matsayin muhimmin sashi na kayan aikin, matsalar faɗaɗa zafi na tushen injin granite ta jawo hankali sosai.

Yawan faɗaɗa zafin granite yawanci yana tsakanin 4 zuwa 8×10⁻⁶/℃, wanda ya fi ƙasa da na ƙarfe da marmara. Wannan yana nufin cewa lokacin da zafin ya canza, girmansa yana canzawa kaɗan. Duk da haka, ya kamata a lura cewa ƙarancin faɗaɗa zafin ba yana nufin babu faɗaɗa zafin ba. A ƙarƙashin canjin zafin jiki mai tsanani, ko da ƙaramin faɗaɗawa na iya shafar daidaiton nanoscale na nano scanning wafer.

A lokacin aikin duba wafer, akwai dalilai da yawa da ke haifar da faɗaɗa zafi. Sauye-sauyen zafin jiki a wurin aiki, zafi da kayan aikin ke haifarwa, da kuma yawan zafin jiki nan take da injin laser ke kawowa duk za su sa tushen granite ya "faɗo ya kuma yi laushi saboda canjin zafin jiki". Da zarar tushen ya fuskanci faɗaɗa zafi, madaidaicin layin jagora da kuma lanƙwasa na dandamali na iya karkacewa, wanda ke haifar da rashin daidaiton yanayin motsi na teburin wafer. Abubuwan da ke tallafawa na gani suma za su canza, wanda ke sa hasken scanning ya "ɓace". Yin aiki akai-akai na dogon lokaci zai kuma tara kurakurai, yana sa daidaito ya yi muni da muni.

Amma kada ku damu. Mutane sun riga sun sami mafita. Dangane da kayan aiki, za a zaɓi jijiyoyin granite waɗanda ke da ƙarancin yawan faɗaɗa zafi kuma a yi musu magani na tsufa. Dangane da sarrafa zafin jiki, ana sarrafa zafin wurin aiki daidai a 23±0.5℃ ko ma ƙasa da haka, kuma za a tsara na'urar watsa zafi mai aiki don tushe. Dangane da ƙirar tsari, ana ɗaukar tsarin daidaitawa da tallafi masu sassauƙa, kuma ana gudanar da sa ido a ainihin lokaci ta hanyar na'urori masu auna zafin jiki. Kurakuran da lalacewar zafi ke haifarwa ana gyara su ta hanyar algorithms.

Kayan aiki masu inganci kamar na'urorin ASML lithography, ta hanyar waɗannan hanyoyin, suna kiyaye tasirin faɗaɗa zafi na tushen granite a cikin ƙaramin kewayon, wanda ke ba da damar daidaiton binciken wafer ya kai matakin nanometer. Saboda haka, matuƙar an sarrafa shi yadda ya kamata, tushen granite ya kasance zaɓi mai aminci ga kayan aikin binciken wafer.